首頁 > 產品中心 > Horiba > Horiba Silica300 硅表

資料下載


產品名稱:Horiba Silica300 硅表
詳細說明:

概要

在半導體/FPD工藝中,超純水中的二氧化硅濃度會給產品精度以及原材料利用率帶來很大影響。高靈敏度硅表 SLIA-300完全能夠達到1μg/L(1ppb)等級的檢測要求。在其小巧的臺式型機身中可實現在整個檢測范圍內的高靈敏度檢測。連同HORIBA享有好評的一些基本特性,例如高速響應性以及自我診斷功能等,其值得夸耀的表現將靈敏度帶入了一個新的等級。SLIA-300為半導體/FPD制造流程中的純水工藝提供了強有力的支持。

特征

●高靈敏度、以及較高的重復性。
利用HORIBA新開發的,獨特檢測單元,SLIA-300實現了應對低濃度的高靈敏度測量。通過5分鐘的高速測量,可保證在0〜2μg/L量程中實現全刻度±2%的重復性。

●小巧設計的臺式型。
新開發的檢測單元技術,實現了劃時代的小巧設計。由于是臺式型,所以可以適用于各種各樣設置條件等較小空間。也可以作為移動式使用。

●試劑的消耗量可降低80%。
采用改良型檢測單元,可以把試劑的消耗量降低到原來的80%。能夠大幅地削減試劑的經費成本。

●最多可檢測6個點。(可選件)
支持多點檢測,SLIA-300支持的多點檢測。檢測點數可以在1和6之間進行任意設定。

●自我診斷功能檢查運行錯誤。
該功能可對試樣水以及試劑的注入、校正、檢測單元內溫度和光源異常等運行錯誤進行監測和自我診斷。如果發生錯誤,就會以報警燈顯示,同時通過文字顯示輸出信息。

●通過自動校正,實現良好維護性。
每次測量之前將自動進行零點校正,除可以確認透過光度以外,還可以修正濁度的影響。

●采用不需要更換的半永久性光源。
采用光量穩定、 工作壽命長的單色性半導體光源。

規格

原理

鉬藍吸光測定法

量程

0〜2/0〜20μg/L or 0〜5/0〜50μg/L(請于訂貨時指定)

再現性

全刻度的±2%

測量時間

5分鐘

檢測周期

5〜995分鐘任意設定

指示標記

・檢測值(濃度):3 1/2位 7段LCD
・狀態顯示(信息):16字×4行 點式矩陣LCD

檢測測量點數

1〜6點(請于訂貨時指定)

校正功能

標準液校正

補正功能

空白補正 稱量線補正(每條線都是獨有的)

使用的試劑

・試藥A:硫酸+鉬酸銨
・試藥B:草酸
・試藥C:L(+)-抗壞血酸

更換試劑周期

1個星期(本公司推薦的時間)

電源

100 - 240V AC 50/60 Hz

最大功率

約600VA

安裝條件

室內,環境溫度:10〜35℃,濕度:85%或更低

試料水條件

・水 溫:15〜35℃
・供給流量:250〜300mL/min(可以調整)
・壓 力:0.1〜0.5MPa

外形尺寸

375(H)×580(W)×500(D) mm

重量

1個測量點 約41kg(每增加1個測量點數,重量則相應增加1kg)

外部輸入輸出

濃度輸出

・4〜20mA DC/0〜16mA DC/0〜1V DC(請于訂貨時指定)

接點輸出

・ 每條線相同: 測量中、同步信號、報警信號(批次)、加熱器、關閉電源、校正信號1和2、濃度上限報警或切斷樣品水。 ・每條線不同: 量程、濃度上限報警或切斷樣品水 (請在訂貨時指定濃度報警、切斷樣品水批次或各條線的報警。另外,報警信號內容也要同時進行選擇。)

接點輸入

・ 每條線相同: 校正開始、測量開始、經濟運轉、線的選擇、測量低量程、檢測高量程

串行輸入輸出

RS-232C

適合規格

CE標記、FCC Part15

可選件

樣品水加熱裝置、標準液供給裝置、試藥調配用器具

 
 電話: 021-61069701 傳真:021-61069710  
絢貿(上海)工業設備貿易有限公司 版權所有 技術支持:淘鑫網站建設公司
在線客服系統
啪啪在线